I filtri del profilo dividono un profilo in componenti a onda corta e onda lunga.
Un filtro S del profilo rimuove le componenti a onda corta, un filtro L del profilo rimuove le componenti a onda lunga.
L'indice di nesting Nic (in precedenza cut-off λc) definisce il passaggio dalla rugosità all'ondulazione.
Con un filtro a correzione di fase la linea mediana si ottiene calcolando un valore medio ponderato per ogni punto del profilo.
La funzione di ponderazione indica per ogni punto del profilo, con quale fattore di valutazione i punti di profilo adiacenti confluiscono nel calcolo della media (curva gaussiana).
Il profilo R (profilo di rugosità) è lo scostamento del profilo primario dalla linea mediana del filtro S del profilo. Nella rappresentazione del profilo di rugosità la linea mediana è la linea dello zero.
